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Dotierung

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Dotierung Artikel

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Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat.: dotare ausstatten) ist

  1. die Festlegung einer bestimmten Geldsumme als Entgelt oder bei einer Preisverleihung
  2. in der Elektronik bei der Chipherstellung das Einbringen (Implantation ) von Fremdatomen in eine Schicht oder in das Grundmaterial eines elektronischen Bauteiles oder eines integrierten Schaltkreises, und zwar in sehr kleiner Konzentration (Größenordnung ungefähr 10-10). Dies verändert gezielt die Merkmale dieser Schicht, meistens die Leitfähigkeit oder die Kristallstruktur. Es gibt hierfür verschiedene Verfahren, z.B. Diffusion, Sublimation aus der Gasphase oder Beschuss mittels hochenergetischen Teilchenkanonen unter Vakuum (Ionenimplantation). Die Wirkungsweise der Dotierung kann in dem Bändermodell erklärt werden.

Typische Dotierstoffe für Silizium-Schichten sind:

und seit neustem auch

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